項(xiàng)目地理位置

廈門(mén)市海滄區(qū)南海二路海滄半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地2#廠房1-4層及4#廠房2、3層

建設(shè)單位聯(lián)系人

林潮良

項(xiàng)目名稱

廈門(mén)四合微電子PLP生產(chǎn)線項(xiàng)目

項(xiàng)目簡(jiǎn)介

項(xiàng)目性質(zhì)：新建；

項(xiàng)目總投資：35000萬(wàn)元；

建設(shè)規(guī)模：年產(chǎn)DFN1006：12000KK顆、DFN0603：12000KK顆、DFN5×6：120KK顆、STRIP：2.93KK條。

項(xiàng)目主要設(shè)計(jì)內(nèi)容

一、防塵、防毒設(shè)施設(shè)計(jì)

（1）2#廠房1F鉆機(jī)設(shè)置側(cè)吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：7000m³/h）。

（2）2#廠房2F銑床設(shè)置側(cè)吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：7000m³/h）。

（3）2#廠房2F棕化線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：7000m³/h）。

（4）2#廠房3F晶圓切割機(jī)設(shè)置側(cè)吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：7000m³/h）。

（5）4#廠房2F激光鉆孔采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：25000m³/h）。

（6）4#廠房2F微蝕減銅線、水平除膠沉銅線、鍍錫線、鍍銅線、圖形化學(xué)前處理線、快速蝕刻線、水平DES線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：27600m³/h）。

（7）4#廠房2F去膜線/隧道烘箱采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：32000m³/h）。

（8）4#廠房3F沉錫線、超粗化線、噴砂線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：20000m³/h）。

（9）4#廠房3F絲印機(jī)、滾涂線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：35000m³/h）。

（10）4#廠房3F去膜線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：32000m³/h）。

（11）4#廠房3F鎳鈀金線采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：31000m³/h）。

（12）4#廠房3F數(shù)控銑床采用自動(dòng)化、機(jī)械化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：25000m³/h）

（13）原輔料分類存放，均用密閉的容器儲(chǔ)存，化學(xué)品容器用墊板墊高，防止與地面接觸�；瘜W(xué)品倉(cāng)庫(kù)采用環(huán)氧地坪漆，設(shè)置圍堰或放置托盤(pán)，預(yù)防化學(xué)品發(fā)生泄漏。

（14）易燃液體、遇濕易燃物品、易燃固體不與氧化劑混合貯存，具有還原性的氧化劑單獨(dú)存放。

（15）有毒物品應(yīng)貯存在陰涼、通風(fēng)、干燥的場(chǎng)所，不露天存放，不接近酸類物質(zhì)。

（16）化學(xué)危險(xiǎn)品入庫(kù)時(shí)，嚴(yán)格檢驗(yàn)物品質(zhì)量、數(shù)量、包裝情況、有無(wú)泄漏。

（17）化學(xué)危險(xiǎn)品入庫(kù)后采取適當(dāng)?shù)酿B(yǎng)護(hù)措施，在貯存期內(nèi)，定期檢查，發(fā)現(xiàn)其品質(zhì)變化、包裝破損、滲漏等，及時(shí)處理。

（18）庫(kù)房溫度、濕度嚴(yán)格控制、經(jīng)常檢查，發(fā)現(xiàn)變化及時(shí)調(diào)整。

（19）建設(shè)單位生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的固廢分類存放、密封袋盛裝。

（20）排風(fēng)罩應(yīng)能將有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作場(chǎng)所有害物濃度達(dá)到相應(yīng)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)要求的前提下，提高捕集效率，以較小的能耗捕集有害物。

（21）當(dāng)不能將有害物源全部密閉時(shí)可設(shè)置外部罩，外部罩的罩口應(yīng)盡可能接近有害物源。

（22）排風(fēng)罩的罩口外氣流組織宜有利于有害氣流直接進(jìn)入罩內(nèi)，且排氣線路不應(yīng)通過(guò)作業(yè)人員的呼吸帶。

（23）排風(fēng)罩應(yīng)避免布置在存在干擾氣流之處。排風(fēng)罩的設(shè)置應(yīng)方便作業(yè)人員操作和設(shè)備維修。

（24）液氮為密閉管道輸送。

（25）建設(shè)項(xiàng)目化學(xué)品在使用前均為密封包裝狀態(tài)，分別轉(zhuǎn)運(yùn)至藥品自動(dòng)供給室，在安裝桶/槽/罐/瓶時(shí)，均在化學(xué)品柜中進(jìn)行，管路連接完成后方能開(kāi)啟桶/槽/罐/瓶。藥品配送站設(shè)計(jì)位于密閉的潔凈廠房?jī)?nèi)，設(shè)置一般排氣（2#廠房：風(fēng)量18000m³/h；4#廠房：風(fēng)量40000m³/h），廢氣將通過(guò)廠房屋頂排氣筒排放�；瘜W(xué)品在輸送至生產(chǎn)工序時(shí)管道采用雙層套管，避免了物料的跑冒滴漏。

二、防噪、減振設(shè)施設(shè)計(jì)

（1）在符合工藝要求的條件下，選用低噪聲的設(shè)備。

（2）高噪聲設(shè)備集中布置與辦公室隔開(kāi)，并設(shè)置消音器（風(fēng)機(jī)等），作業(yè)場(chǎng)所采用墻體隔聲，減少噪聲傳播，降低噪聲對(duì)非生產(chǎn)區(qū)的影響。

（3）生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置減振墊，減少振動(dòng)造成的噪聲。

（4）辦公室、控制室與作業(yè)場(chǎng)所位于不同樓層，正常作業(yè)時(shí)，門(mén)窗均為關(guān)閉狀態(tài)。

①消音器外觀應(yīng)整潔、無(wú)破損；

②消音器銘牌、合格證及氣流方向標(biāo)志應(yīng)牢固，標(biāo)識(shí)內(nèi)容應(yīng)清晰；

③消音器采用鉚接工藝時(shí)，鉚點(diǎn)應(yīng)均勻牢固且應(yīng)選用實(shí)心鉚釘，穿孔板咬口方式應(yīng)采用內(nèi)平咬口工藝以減小風(fēng)阻；采用焊接工藝時(shí)，焊接區(qū)域應(yīng)牢固、均勻、光滑，不應(yīng)有裂紋、虛焊、氣孔、夾渣等缺陷；

④消音器安裝采用過(guò)渡管連接時(shí)，過(guò)渡管單邊當(dāng)量擴(kuò)張角應(yīng)不大于15°，并應(yīng)保證氣流均勻通過(guò)消聲器截面；

⑤在保證使用性能的條件下，消音器可承受的最高壓力不應(yīng)超過(guò)額定壓力的120%，可通過(guò)氣流的最高流量不得超過(guò)額定流量的110%，可通過(guò)介質(zhì)的最高溫度不應(yīng)高于額定溫度50℃。

三、防暑、降溫設(shè)施設(shè)計(jì)

（1）高溫季節(jié)為勞動(dòng)者發(fā)放清涼飲品和藥品。

（2）合理安排作業(yè)時(shí)間，制定合理的勞動(dòng)休息制度，減少高溫接觸時(shí)間。

（3）作業(yè)場(chǎng)所采用送風(fēng)系統(tǒng)，空調(diào)作業(yè)場(chǎng)所，加強(qiáng)內(nèi)空氣流通。

（4）建設(shè)單位隧道烘箱等設(shè)置隔熱材料，防止作業(yè)人員燙傷。

（5）除上述防暑降溫設(shè)施、措施，建設(shè)單位還應(yīng)按照《關(guān)于印發(fā)防暑降溫措施管理辦法的通知》（安監(jiān)總安健〔2012〕89號(hào)）的要求，根據(jù)地市級(jí)以上氣象主管部門(mén)所屬氣象臺(tái)當(dāng)日發(fā)布的預(yù)報(bào)氣溫，調(diào)整作業(yè)時(shí)間：

①日最高氣溫達(dá)到40℃以上，應(yīng)當(dāng)停止當(dāng)日室外露天作業(yè)；

②日最高氣溫達(dá)到37℃以上、40℃以下時(shí)，建設(shè)單位全天安排勞動(dòng)者室外露天作業(yè)時(shí)間累計(jì)不得超過(guò)6小時(shí)，連續(xù)作業(yè)時(shí)間不得超過(guò)國(guó)家規(guī)定，且在氣溫最高時(shí)段3小時(shí)內(nèi)不得安排室外露天作業(yè)；

③日最高氣溫達(dá)到35℃以上、37℃以下時(shí)，建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)采取換班輪休等方式，縮短勞動(dòng)者連續(xù)作業(yè)時(shí)間，并且不得安排室外露天作業(yè)勞動(dòng)者加班。

四、防電離輻射設(shè)施設(shè)計(jì)

（1）設(shè)備自帶屏蔽措施（屏蔽體與X射線裝置主體結(jié)構(gòu)一體設(shè)計(jì)和制造）。機(jī)房四周和頂部的墻體均采用鋼-鉛-鋼夾層結(jié)構(gòu)（鉛層厚度：14mm）。

（2）設(shè)置單獨(dú)的控制臺(tái)，控制臺(tái)的液晶顯示屏可清晰地顯示工作時(shí)的管電壓、管電流、高壓接通或斷開(kāi)狀態(tài)以及照射時(shí)間設(shè)定值等工作參數(shù)，并設(shè)有高壓接通時(shí)的外部報(bào)警、指示裝置，控制臺(tái)與X射線機(jī)系統(tǒng)分開(kāi)并避開(kāi)有用線束的照射方向。

（3）設(shè)置門(mén)-機(jī)聯(lián)鎖裝置，并保證在門(mén)（包括人員門(mén)和貨物門(mén)）關(guān)閉后X射線裝置才能進(jìn)行作業(yè)，門(mén)打開(kāi)時(shí)應(yīng)立即停止X射線照射，關(guān)上門(mén)不能自動(dòng)開(kāi)始X射線照射。

（4）作業(yè)場(chǎng)所門(mén)口和內(nèi)部同時(shí)設(shè)有顯示“預(yù)備”和“照射”狀態(tài)的指示燈和聲音提示裝置。“預(yù)備”信號(hào)持續(xù)足夠長(zhǎng)的時(shí)間，以確保探傷室內(nèi)人員安全離開(kāi)。“預(yù)備”信號(hào)和“照射”信號(hào)與該工作場(chǎng)所內(nèi)使用的其他報(bào)警信號(hào)有明顯區(qū)別。照射狀態(tài)指示裝置與X射線探傷裝置聯(lián)鎖。

（5）作業(yè)場(chǎng)所防護(hù)門(mén)上有電離輻射警告標(biāo)識(shí)和中文警示說(shuō)明。

（6）分別設(shè)置鑰匙開(kāi)關(guān)，并由專人管理，只有在打開(kāi)控制臺(tái)鑰匙開(kāi)關(guān)后，X射線管才能出束；只有在停機(jī)或待機(jī)狀態(tài)時(shí)才能拔出鑰匙。

（7）設(shè)置攝像頭，對(duì)測(cè)厚、在線 X-ray 檢查、鉆靶作業(yè)進(jìn)行監(jiān)控，避免不規(guī)范作業(yè)。

（8）設(shè)置獨(dú)立的安全開(kāi)關(guān)，防止門(mén)在檢測(cè)過(guò)程中打開(kāi)或在門(mén)打開(kāi)時(shí)關(guān)閉高壓，鉛門(mén)同時(shí)設(shè)置與X射線源的連鎖保護(hù)，鉛門(mén)打開(kāi)時(shí)不能開(kāi)啟高壓，開(kāi)高壓過(guò)程中如鉛門(mén)意外打開(kāi)，高壓自動(dòng)關(guān)閉，控制臺(tái)配置應(yīng)急開(kāi)關(guān)與X射線源連鎖。

（9）每天對(duì)各操作按鈕開(kāi)關(guān)是否完好無(wú)損，對(duì)急停開(kāi)關(guān)、聯(lián)動(dòng)門(mén)關(guān)閉、警示燈、水冷系統(tǒng)運(yùn)行、監(jiān)控系統(tǒng)、輻射個(gè)人劑量報(bào)警儀、個(gè)人劑量片胸卡等是否正常工作或運(yùn)行進(jìn)行檢查，確認(rèn)無(wú)誤后方可進(jìn)行作業(yè)。

（10）設(shè)置電源總開(kāi)關(guān)，當(dāng)緊急停機(jī)按鈕無(wú)法使用，可以切斷電源總開(kāi)關(guān)使系統(tǒng)停止運(yùn)行。

（11）定期用檢測(cè)儀對(duì)系統(tǒng)輻射值進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)射線是否有泄漏。放射工作人員開(kāi)機(jī)操作前先使用X射線泄漏檢測(cè)儀對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行放射泄漏安全檢測(cè)，檢測(cè)合格后方可按照安全操作規(guī)程進(jìn)行操作，定期對(duì)接地和電纜絕緣進(jìn)行檢查。

（12）制定X射線實(shí)時(shí)成像檢測(cè)系統(tǒng)的安全操作規(guī)程，并對(duì)放射工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行操作。

（13）X射線裝置墻壁圍成的內(nèi)部區(qū)域劃為控制區(qū),與墻壁外部相鄰區(qū)域劃為監(jiān)督區(qū)。

（14）控制區(qū)邊界懸掛清晰可見(jiàn)的“禁止進(jìn)入X 射線區(qū)”警告牌,探傷作業(yè)人員在控制區(qū)邊界外操作,否則應(yīng)采取專門(mén)的防護(hù)措施。

（15）現(xiàn)場(chǎng)探傷作業(yè)工作過(guò)程中,控制區(qū)內(nèi)不應(yīng)同時(shí)進(jìn)行其他工作。

五、防非電離輻射設(shè)施設(shè)計(jì)

（1）建設(shè)單位激光打標(biāo)、激光鉆孔、UV 固化、阻焊DI曝光采用自動(dòng)化、密閉化設(shè)備，并設(shè)置聯(lián)鎖的防護(hù)罩，光束的通道防護(hù)圍封。

（2）在防護(hù)裝置被打開(kāi)或被移動(dòng)，或聯(lián)鎖裝置失效時(shí)，設(shè)備不能自動(dòng)運(yùn)行工作。

（3）機(jī)床的激光成形加工裝置安全、可靠，確保其不致脫落或在運(yùn)動(dòng)時(shí)不被甩出。

（4）設(shè)備的往復(fù)運(yùn)動(dòng)部件采取可靠的限位措施。各運(yùn)動(dòng)軸設(shè)置可靠的電氣、機(jī)械雙重限位裝置，防止造成滑落的危險(xiǎn)。

（5）在預(yù)定工作條件下，設(shè)備及其部件不出現(xiàn)意外傾覆。激光系統(tǒng)、光束傳輸部件應(yīng)有防護(hù)措施并牢固定位,防止造成沖擊和振動(dòng)。

（6）設(shè)備工作時(shí)有明顯的信號(hào)指示，警示標(biāo)志貼在設(shè)備的醒目位置。

（7）每個(gè)“起動(dòng)”控制元器件附近均應(yīng)設(shè)置一個(gè)“停止”控制元器件。設(shè)備的每個(gè)操作位置均應(yīng)設(shè)置急停器件。設(shè)備的急停能實(shí)現(xiàn)：

①使激光光束不再產(chǎn)生并自動(dòng)把激光光閘放到關(guān)斷位置；

②使設(shè)備停機(jī)；

③切斷激光電源并釋放儲(chǔ)存的所有能量。

預(yù)期效果

建設(shè)單位的職業(yè)病防護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)全面貫徹執(zhí)行國(guó)家職業(yè)衛(wèi)生法律、法規(guī)、規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)要求，采取的防毒、防塵、防暑降溫、防噪、防電離輻射、防非電離輻射等職業(yè)病防護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)具有可行性、有效性、實(shí)用性，在今后的施工設(shè)計(jì)中，建設(shè)單位若能充分落實(shí)本專篇設(shè)計(jì)的內(nèi)容，預(yù)計(jì)建成投產(chǎn)后，在職業(yè)病防護(hù)設(shè)施正常穩(wěn)定運(yùn)行以及個(gè)人防護(hù)用品正確佩戴和使用的情況下，勞動(dòng)者在工作場(chǎng)所中接觸的職業(yè)病危害因素的濃/強(qiáng)度將符合國(guó)家職業(yè)接觸限值，滿足相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章和標(biāo)準(zhǔn)的要求。

技術(shù)審查專家組評(píng)審意見(jiàn)

專家組對(duì)《專篇報(bào)告》的審查建議：

1、完善辦公室、控制室、倉(cāng)庫(kù)、過(guò)道等照明設(shè)計(jì)要求；

2、完善液氮儲(chǔ)罐圍堰的設(shè)計(jì)，建議設(shè)置防凍傷的內(nèi)容。